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       MTM-10 高分辨膜厚測控儀

       高分辨率膜厚測控儀的原理是:石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質量不同而變化。根據這一特性,可以通過測量石英晶振片的振動頻率變化,以計算出沉積膜的質量多少。再通過已知的膜密度和面積,而最終精確計算出所沉積膜的厚度。

       

      性能參數:

       

      膜厚范圍:

      0.0 - 999.9nm

      :

      0.1nm

      密度范圍:

      0.50 - 30.00g/cm³

      修正因子:

      0.25 - 8.0

      存儲功能:

      可存儲4組密度和修正因子數據

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